Innovation Japan 2016
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兵庫県立大学 工学研究科 電子情報工学専攻

佐藤 邦弘 教授

小間M-59
プレJP-35A2

ホログラフィック顕微鏡を用いた高速・高精度薄膜測定

University of Hyogo

Professor Kunihiro Sato

High-Speed and High-Precision Thin Film Measurement using Holographic Microscope

出展ゾーン
JST大学見本市ゾーン
出展分野
装置・デバイス
小間番号
M-59
プレゼンテーション
JP-35A2
2016年8月26日(金)
13:50~

展示概要

技術概要
本技術は、ホログラフィック顕微鏡を用いた高速かつ高精度な薄膜測定に関する。ホログラフィを使って薄膜反射光の振幅位相情報を正確にワンショット記録し、記録光情報を使って膜厚や光学定数およびその空間分布を高精度測定する。膨大な光情報の利用により高精度な薄膜測定が可能になる。また、分光エリプソメトリーで用いられる分光器、回転偏光子や光弾性変調器が不要なため装置構成が簡単であり、かつ、測定時間も大幅に縮小することが出来る。さらに、一度のホログラム取得で2次元平面内の膜厚分布を得ることが可能である。

 

想定される活用例
・半導体デバイスの薄膜測定および構造解析
・薄膜形成やエッチング、酸化・熱処理などの実時間計測やフィードバック制御
・有機デバイス材料評価やドライアイ診断

展示のみどころ
高分解能ホログラフィック顕微鏡の原理、多量なホログラムデータを利用した薄膜測定法、および薄膜測定装置の簡単な構造と特徴について分かりやすく説明し、実際の薄膜被写体を記録した光の振幅位相画像およびデータ解析の結果を示す。また、測定装置の性能評価を行った実験結果を示して新たな測定方法の利点を明らかにし、ナノテク分野や医療計測分野における具体的な応用について述べる。

特許情報

特許情報1 発明の名称
ホログラフィック顕微鏡、微小被写体のホログラム画像記録方法、高分解能画像再生用ホログラム作成方法、および画像再生方法
特許情報1 出願人
兵庫県
特許情報1 発明者
佐藤邦弘
特許情報1 出願日
2010年7月7日
特許情報1 出願番号
特願2010-155024(PCT/JP2011/065531)
特許情報2 発明の名称
ホログラフィック断層顕微鏡、ホログラフィック断層画像生成方法、およびホログラフィック断層画像用のデータ取得方法
特許情報2 出願人
兵庫県
特許情報2 発明者
佐藤邦弘
特許情報2 出願日
2012年10月5日
特許情報2 出願番号
特願2012-223690(PCT/JP2013/077059)
特許情報3 発明の名称
ホログラフィック顕微鏡、高分解能画像用のホログラムデータ取得方法、および高分解能ホログラム画像再生方法
特許情報3 出願人
兵庫県
特許情報3 発明者
佐藤邦弘
特許情報3 出願日
2013年10月28日
特許情報3 出願番号
特願2013-223761(PCT/JP2014/005448)

お問い合わせ先

兵庫県立大学工学研究科電子情報工学専攻

電話:079-267-4991   FAX:079-267-4991  

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